法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2017-03-08
发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):G01Q60/22 申请公布日:20141224 申请日:20140916
发明专利申请公布后的视为撤回
2015-01-14
实质审查的生效 IPC(主分类):G01Q60/22 申请日:20140916
实质审查的生效
2014-12-24
公开
公开
机译: 用于扫描近场光学显微镜的光学检测装置,包括扫描近场光学显微镜尖端,垂直腔表面发射激光腔和整体集成在同一结构中的光电探测器
机译: 用于近场光学显微镜的探针,其制造方法和扫描近场光学显微镜
机译: 用于近场光学显微镜的探针,其制造方法和扫描近场光学显微镜