公开/公告号CN104404449A
专利类型发明专利
公开/公告日2015-03-11
原文格式PDF
申请/专利权人 大连维钛克科技股份有限公司;
申请/专利号CN201410730511.9
申请日2014-12-05
分类号C23C14/22;
代理机构
代理人
地址 116013 辽宁省大连市甘井子区大连湾振兴路200号
入库时间 2023-12-17 03:53:39
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2017-05-10
发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):C23C14/22 申请公布日:20150311 申请日:20141205
发明专利申请公布后的视为撤回
2015-04-08
实质审查的生效 IPC(主分类):C23C14/22 申请日:20141205
实质审查的生效
2015-03-11
公开
公开
机译: AI或AI合金真空腔室构件,表面处理方法和真空腔室构件材料(铝或其合金制成的真空腔室,以及真空腔室的表面处理和材料)
机译: 真空镀膜装置的支架旋转单元,即使工作人员未进入真空腔室,也能自动对两个透镜表面进行镀膜
机译: 真空镀膜设备和真空镀膜设备的处理室的分离装置