智能双室真空镀膜机的控制系统设计

摘要

本文研制的智能双室真空镀膜机，是自动控制技术和真空镀膜技术在制镜镀膜机械设备高技术产业化中的应用，该机是目前国内先进的制镜镀膜设备，用一套抽气机组分别对两个真空室交替工作。真空镀膜机主要由镀膜室、真空系统、电控系统等部分组成，本文主要对其电控系统进行研究。
　　 该双室真空镀膜机的电气控制系统主要由S7-200可编程控制器、TD200人机界面以及感测电路和执行机构等组成，实现对真空系统的各种泵、阀门和模拟蒸发等进行控制。人机界面TD200完成各种参数设定和监视等功能；由CPU模块CPU224和模拟量输出模块EM232等组成的可编程控制器主要完成系统中各种参数的检测、信息处理和输出控制等功能。
　　 论文首先对双室真空镀膜机的系统结构和双室蒸镀的工艺进行了分析，在此基础上，完成了控制系统的硬件电路设计和软件编程。尤其对双室真空镀膜机的顺序控制部分和模拟蒸发部分的软件实现以及用于文本显示和操作员界面的TD200参数的设置与显示设计进行了详细介绍。
　　 该镀膜机工艺先进，自动化程度高，减轻了操作工人的劳动强度，提高了生产效率和性能，保证了镀膜质量。