法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2017-07-14
发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):H01L21/67 申请公布日:20141231 申请日:20130628
发明专利申请公布后的视为撤回
2015-01-21
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L21/67 申请日:20130628
实质审查的生效
2014-12-31
公开
公开
机译: 半导体装置动作控制方法,半导体装置动作控制程序,记录半导体装置动作控制程序的记录介质,半导体装置以及IC卡
机译: 拥有使用半导体制程设备的主管和具有该功能的半导体制程设备
机译: 半导体前驱物的控制设备半导体前驱物的控制方法半导体前驱物的控制程序和半导体前驱物的控制系统