制程生成方法、使用了生成的制程的半导体器件的制造方法、基板处理装置及制程生成程序

摘要

使具备选择画面区域和参数编辑画面区域的制程编辑画面显示于显示部，受理从显示于选择画面区域的参数的一览表选择作为编辑对象的参数的选择操作，其中该选择画面区域显示用于对基板处理装置的制程所包含的参数进行选择的参数一览表，该参数编辑画面区域用于编辑参数。使时间图以能够编辑的方式显示于参数编辑画面区域，受理对时间图进行编辑的操作指示，根据操作指示使时间图的显示变化而对作为编辑对象的参数进行编辑，其中该时间图是用于编辑通过选择操作而被选择的作为编辑对象的参数的时间图，且在制造工序所包含的一系列步骤的各步骤的时刻下发生变化。