测试结构序列号的设计方法及测试结构序列号

摘要

本发明公开了一种测试结构序列号的设计方法及测试结构序列号，所述测试结构序列号是由多个已知符合设计规则的辅助图形（dummy pattern）或者辅助图形排列的间隙形成，因此能够避免使用多个多边形进行叠加组合时形成的图案不合规则的问题，从而降低甚至避免了对待测器件的影响。