法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2018-10-19
发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):C23C14/34 申请公布日:20141217 申请日:20101116
发明专利申请公布后的驳回
2015-01-07
实质审查的生效 IPC(主分类):C23C14/34 申请日:20101116
实质审查的生效
2014-12-17
公开
公开
机译: 透明导电膜的制造方法,透明导电膜的制造装置,溅射靶和透明导电膜。
机译: 透明导电膜的制造方法,透明导电膜的制造装置,溅射靶和透明导电膜
机译: 透明导电膜的制造方法,透明导电膜的制造装置,透明导电膜和溅射靶