检测使用机械臂的机械操作中的位置偏移的装置和方法

摘要

本申请涉及检测使用机械臂的机械操作中的位置偏移的装置和方法。一种用于检测使用机械臂（114）的机械操作中的位置偏移的装置（100），所述机械臂用于在半导体基体（116）上进行操作，所述机械臂和所述半导体基体被配置为彼此之间进行相对运动，所述装置包括：输入端（102），所述输入端用于接收来自安装在所述机械臂上的传感器（124）的输入信号（128）；检测器（104，106）用于通过输入信号进行机械臂和半导体基体之间存在预定距离（302）的检测；其中所述装置被配置为通过所述检测来确定是否存在位置偏移。