公开/公告号CN103681960A
专利类型发明专利
公开/公告日2014-03-26
原文格式PDF
申请/专利权人 山东希格斯新能源有限责任公司;
申请/专利号CN201310588262.X
发明设计人 不公告发明人;
申请日2013-11-21
分类号H01L31/18;H01L31/032;C23C14/35;C23C14/24;C23C14/06;C23C14/14;
代理机构
代理人
地址 271114 山东省莱芜市莱城区工业区金安路以北莱城大道以东
入库时间 2023-12-17 01:34:31
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2016-12-21
发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):H01L31/18 申请公布日:20140326 申请日:20131121
发明专利申请公布后的视为撤回
2014-12-10
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L31/18 申请日:20131121
实质审查的生效
2014-03-26
公开
公开
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