公开/公告号CN103969574A
专利类型发明专利
公开/公告日2014-08-06
原文格式PDF
申请/专利权人 上海华虹宏力半导体制造有限公司;
申请/专利号CN201310030605.0
发明设计人 曾志敏;
申请日2013-01-28
分类号G01R31/3183;
代理机构上海浦一知识产权代理有限公司;
代理人丁纪铁
地址 201203 上海市浦东新区张江高科技园区祖冲之路1399号
入库时间 2023-12-17 00:50:37
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2018-08-03
发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):G01R31/3183 申请公布日:20140806 申请日:20130128
发明专利申请公布后的驳回
2014-09-03
实质审查的生效 IPC(主分类):G01R31/3183 申请日:20130128
实质审查的生效
2014-08-06
公开
公开
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