化学传感器、化学传感器模块、生物分子检测装置及生物分子检测方法

摘要

本发明涉及能够高精确度地检测生物分子的化学传感器、化学传感器模块、生物分子检测装置及生物分子检测方法，其中，所述化学传感器包括基板、片上透镜及平坦化层。多个光电二极管形成在所述基板上并布置成以平面的形式。所述片上透镜设置在所述基板上并将入射光收集到所述光电二极管。所述平坦化层覆盖所述片上透镜并使所述片上透镜平坦化，以形成用于保持探测材料的探测保持表面。