干法刻蚀设备中的静电吸附板表面凸点的制造方法

摘要

本发明是关于一种干法刻蚀设备中的静电吸附板表面凸点的制造方法。本发明的制作方法中，在静电吸附板的陶瓷层的表面制作出多个凹洞，接着将球形微粒黏合固定在陶瓷层表面的凹洞上，以形成静电吸附板的表面凸点。本发明能够缩短制作工期，降低成本。