一种光刻机照明系统相干因子的优化方法

摘要

本发明提供一种光刻机照明系统相干因子的优化方法；该方法具体步骤为：利用霍普芬格Hopfinger黄金分割法，确定在搜索范围内端点以及分割点的相干因子值，并计算上述相干因子值对应的光刻焦深，根据计算的光刻焦深对搜索范围进行递减，重新计算新端点以及分割点对应的光刻焦深，依次循环，直至满足预设的条件位置。采用本发明方法计算量小，且可获得满足需求光刻焦深。