一种基于CCD成像的光刻机相干因子测量方法

摘要

本发明是基于CCD图像传感器的光刻机照明系统相干因子在线测量方法，测量系统主体主要由针孔、透镜组与CCD组成的CCD探头模块，由XY扫描控制台与驱动器组成的扫描控制模块和由数据采集卡与计算机组成的数据采集与存储处理模块三部分构成。本发明有几方面的优点：用CCD代替光刻胶，通过小孔成像，对CCD所采集的光斑上能量分布进行分析计算，得到部分相干因子测量值，可重复利用率高；测量精度高，响应时间快，缩短了感光时间，提高了检测效率；CCD与计算机相连，可作实时自动信息处理和数据存储，适用于光刻系统装调过程的在线检测；在掩模面处测量照明系统相干因子，便于及时发现问题，正确定位误差。