基于红外技术的晶圆切割在线检测系统

摘要

本发明涉及一种检测系统，尤其是一种基于红外技术的晶圆切割在线检测系统，属于晶圆切割检测的技术领域。按照本发明提供的技术方案，所述基于红外技术的晶圆切割在线检测系统，包括传动轴以及位于所述传动轴端部的法兰；所述法兰上还固定安装有用于检测切割道的红外传感器。本发明利用红外传感器对切割刀切割时的切割道进行实时检测，通过红外接收电路对晶圆反射波量接收，并通过信号放大电路及滤波电路将信号输入数据处理电路，由数据处理电路根据反射波量判断控制切割刀的工作状态，结构紧凑，检测实时性强，确保晶圆正常切割并确保切割刀不受损，提高切割的稳定性，安全可靠。