基于红外技术的薄膜厚度在线检测系统的设计

摘要

介绍了红外透射式检测原理,以TMS320F2812为主控芯片设计了薄膜厚度信号的采集计算系统,主要包括信号采集、信号调理、A/D转换,数据处理、串口通信等,设计了人机交互系统来实现数据的实时显示.实验结果表明,基于红外技术的薄膜测厚系统能够实现对薄膜厚度的实时检测,具有精度高,抗干扰性强,人机界面友好等特点,功能和指标都达到了设计要求.