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新型单晶炉热场、拉制轻掺硅单晶棒的新型单晶炉热场

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摘要

本发明公开了一种新型单晶炉热场，包括导流筒；其特征在于，所述导流筒表面设置有碳化硅涂层。本发明中的新型单晶炉热场，由于采用设置碳化硅涂层的导流筒，可降低硅单晶棒生产能耗，可降低5%以上。使用本发明中的新型单晶炉热场，拉制的N型轻掺硅单晶的OISF可降低到100个/cm

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2016-02-24

发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):C30B15/14 申请公布日:20140115 申请日:20120630

发明专利申请公布后的视为撤回
2014-01-15

公开

公开

1. 新型单晶炉热场、拉制轻掺硅单晶棒的新型单晶炉热场 [P] . 中国专利： CN103510154A . 2014-01-15
2. 新型单晶炉热场、拉制轻掺硅单晶棒的新型单晶炉热场 [P] . 中国专利： CN202755095U . 2013-02-27
3. THERMAL FIELD STRUCTURE FOR SINGLE CRYSTAL FURNACE, SINGLE CRYSTAL FURNACE, AND CRYSTAL BAR [P] . WO2021244234A1 . 2021-12-09

机译：单晶炉，单晶炉和水晶棒的热场结构
4. HEAT FIELD STRUCTURE OF SINGLE CRYSTAL FURNACE FOR REMOVING THE DEPOSITION OF VOLATILE COMPONENTS ON THE EXTERIOR OF HEAT SHIELD [P] . 世界知识产权组织专利： WO2012009900A1 . 2012-01-26

机译：单晶炉的热场结构，可消除热屏蔽外部的挥发性成分的沉积
5. EFFICIENT HEAT SHIELD FOR SILICON SINGLE CRYSTAL FURNACE [P] . 世界知识产权组织专利： WO2011160293A1 . 2011-12-29

机译：硅单晶炉的高效隔热屏