自主研发成功新型硅单晶炉

摘要

硅单晶作为现代信息社会的关键性支撑材料，是目前最重要的单晶材料之一，也是发展计算机与集成电路的主要功能材料。我国以单晶炉为代表的晶体生长设备一直存在核心技术不足问题，国外公司垄断高端产品。日前，由西安理工大学和北京有色金属研究总院承担的国家“863”计划项目“TDR-150型单晶炉（12英寸MCZ综合系统）”通过了验收，标志着拥有自主知识产权和核心技术的大尺寸集成电路与太阳能用硅单晶生长设备在我国研制成功。