一种退火制备二硼化镁超导薄膜微结构的方法

摘要

一种电子束退火制备二硼化镁超导薄膜微结构的方法，该方法采用电子束在真空中对具有微结构图形的二硼化镁前驱膜进行退火。所述的具有微结构图形的二硼化镁前驱膜为采用掩模法制备的Mg/B多层膜，在秒数量级的退火时间内使前驱膜中的镁、硼单质发生化学反应，最终生成转变温度高于35K的二硼化镁超导薄膜微结构。