法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2016-02-17
发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):G03F7/20 申请公布日:20140108 申请日:20131020
发明专利申请公布后的视为撤回
2014-02-12
实质审查的生效 IPC(主分类):G03F7/20 申请日:20131020
实质审查的生效
2014-01-08
公开
公开
机译: 利用激光干涉光刻技术制造结合了光子晶体结构的表面等离激元彩色滤光片的方法
机译: 短距离表面等离激元与一般介电波导的混合耦合结构,长距离表面等离激元与介电波导的混合结构及其应用
机译: 用于传送光刻掩模的原始结构部分的光学系统,用于成像的投影光学单元,其中光刻掩模的至少一个原始结构部分是可布置的,并且光刻掩模