法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2016-08-17
发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):G01J11/00 申请公布日:20131113 申请日:20130719
发明专利申请公布后的视为撤回
2013-12-04
实质审查的生效 IPC(主分类):G01J11/00 申请日:20130719
实质审查的生效
2013-11-13
公开
公开
机译: 一种产生极紫外光源装置和极紫外光的方法。
机译: 一种在极紫外光中产生光的装置及其在极紫外光辐射照相术中的应用
机译: 一种单向脉宽调制管理桥逆变器的方法及实现装置