柔性CIGS薄膜太阳电池吸收层制备工艺

摘要

一种柔性铜铟镓硒薄膜太阳电池吸收层的制备工艺，利用卷对卷的生产工艺，以25～100μm厚的不锈钢为衬底。首先在衬底上沉积背电极钼层，然后利用三步法共蒸发的方法沉积CIGS吸收层，第一步在衬底温度300～400℃时，共蒸发In、Ga和Se元素；第二步，在衬底温度550～580℃时，共蒸发Cu和Se元素，直到薄膜富铜时结束；第三步，在衬底温度550～580℃时，共蒸发In、Ga和Se元素，最终得到满足化学计量比的CIGS薄膜。通过卷对卷的生产工艺，实现了CIGS太阳电池的工业化大批量生产。利用该发明，制备了具有良好转换效率的柔性CIGS太阳电池。