法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2016-05-11
发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):H01L21/312 申请公布日:20130717 申请日:20110930
发明专利申请公布后的视为撤回
2013-11-13
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L21/312 申请日:20110930
实质审查的生效
2013-07-17
公开
公开
机译: 超高选择性掺杂非晶碳可剥离硬掩模的开发和集成
机译: 超高选择性掺杂非晶碳可剥离硬掩模的开发和集成
机译: 超高选择性掺杂无定形碳硬掩模可剥离的集成开发