amorphous carbon Bessel beam electron-beam shaping nanofabrication vortex beam;
机译:使用非晶态氢化碳膜的掩模制造硅场致发射阵列
机译:非晶氢化碳膜用作在SF6等离子体中进行反应离子刻蚀的硅微尖端制造的掩模
机译:用于电子束光刻的高对比度3D接近校正:一种用于制造悬浮掩模的使能技术,用于在超高压环境中完成器件制造
机译:基于ZnS的发光薄膜的制造与表征,用于无定形碳膜磨损寿命监测
机译:溅射沉积合成和薄膜表征:非晶碳和氮化钛形状记忆合金。
机译:基于薄纳米复合非晶金刚石等含氮含银纳米粒子的多层抗微生物贴剂的临床前研究
机译:用于电子束光刻的高对比度3D接近校正:用于制造悬挂掩模的使能技术,用于在UHV环境中完成器件制造