法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2015-11-04
发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):G01N21/71 申请公布日:20130626 申请日:20130307
发明专利申请公布后的视为撤回
2013-07-24
实质审查的生效 IPC(主分类):G01N21/71 申请日:20130307
实质审查的生效
2013-06-26
公开
公开
机译: 用于微电子行业的直接分析激光机,具有带有飞秒激光源的烧蚀单元,以及激光束位移单元,允许激光束在样品表面上沿平行于表面的两个方向位移
机译: 飞秒激光装置和包括该飞秒激光装置的飞秒激光系统
机译: 基于瞬态光栅效应的飞秒激光脉冲测量方法及装置