公开/公告号CN103063350A
专利类型发明专利
公开/公告日2013-04-24
原文格式PDF
申请/专利权人 上海宏力半导体制造有限公司;
申请/专利号CN201210564055.6
发明设计人 黎坡;
申请日2012-12-21
分类号G01L9/12(20060101);B81B3/00(20060101);B81C1/00(20060101);
代理机构11227 北京集佳知识产权代理有限公司;
代理人骆苏华
地址 201203 上海市浦东新区浦东张江高科技园区祖冲之路1399号
入库时间 2024-02-19 19:02:27
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2016-04-13
授权
授权
2014-07-30
实质审查的生效 IPC(主分类):G01L9/12 申请日:20121221
实质审查的生效
2014-04-30
专利申请权的转移 IPC(主分类):G01L9/12 变更前: 变更后: 登记生效日:20140408 申请日:20121221
专利申请权、专利权的转移
2013-04-24
公开
公开
机译: 使用半导体应变仪的柔性力或压力传感器阵列,柔性力或压力传感器阵列的制造方法以及使用柔性力或压力传感器阵列的力或压力测量方法
机译: 柔性半导体应变计是采用功率或压力传感器阵列,即灵活的生产方式,而其柔性的功率或压力传感器阵列的功率或压力测量方法可以使多个单位无效
机译: 压电悬臂压力传感器阵列的制作方法