Microelectromechanical systems ; Pressure sensors ; Autonomous navigation ; Acoustic detection ; Underwater vehicles ; Silicon wafers ; Electronic equipment ; Membranes ; Fabrication ; Stresses ; Strains ; Hydrodynamics ; Navigation ; Implementation;
机译:聚合物MEMS压力传感器阵列,用于鱼式水下传感应用
机译:基于CMOS的MEMS传感器工艺开发,用于非常低的电容式压力应用
机译:基于MEMS的压力传感器阵列在超音速冲击隧道体内的静态压力测量。
机译:高温(800°C)MEMS压力传感器开发,包括可重复包装的火箭发动机应用
机译:MEMS压力传感器阵列,用于湍流边界层的气动声学分析。
机译:SoundCompass:用于声源定位的分布式MEMS麦克风阵列传感器
机译:用于aUV物体避免的分布式mEms压力传感器阵列的开发与应用