水蒸气阻挡膜形成用蒸镀材及成膜方法以及水蒸气阻挡膜

摘要

本发明提供一种用于形成同时具备无色透明性和较高的水蒸气阻挡性两者的水蒸气阻挡膜的蒸镀材及其成膜方法以及通过该方法成膜的水蒸气阻挡膜。本发明的水蒸气阻挡膜形成用蒸镀材由纯度为98％以上且小于100％的第1氧化物和纯度为98％以上且小于100％的第2氧化物构成，其特征在于，上述第1氧化物为WO