正向冲液的微细电铸装置及其微细电铸方法

摘要

本发明涉及一种正向冲液的微细电铸装置及其微细电铸方法，属于电化学加工技术领域。本发明通过光刻工艺和电铸过程双重控制，提高电铸微结构侧壁垂直度；合理选择控制曝光参数，使光刻后胶模形成预设的正角结构；化学本发明的方法及装置对提高微结构侧壁垂直度以及合理控制电铸过程并得到高质量的电铸结构表面有重要意义。