公开/公告号CN103107098A
专利类型发明专利
公开/公告日2013-05-15
原文格式PDF
申请/专利权人 美新半导体(无锡)有限公司;
申请/专利号CN201110359149.5
申请日2011-11-14
分类号H01L21/56(20060101);H01L23/495(20060101);H01L23/31(20060101);
代理机构32236 无锡互维知识产权代理有限公司;
代理人王爱伟
地址 214000 江苏省无锡市国家高新技术产业开发区新辉环路2号
入库时间 2024-02-19 18:43:12
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2016-05-04
授权
授权
2013-06-12
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L21/56 申请日:20111114
实质审查的生效
2013-05-15
公开
公开
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