公开/公告号CN102994978A
专利类型发明专利
公开/公告日2013-03-27
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申请/专利权人 南通晶科超膜材料有限公司;
申请/专利号CN201110272077.0
申请日2011-09-15
分类号C23C16/44;C23C16/52;
代理机构
代理人
地址 226019 江苏省南通市崇川路58号2号楼209-214室
入库时间 2024-02-19 17:47:45
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2017-08-04
专利权的视为放弃 IPC(主分类):C23C16/44 放弃生效日:20170804 申请日:20110915
专利权的视为放弃
2015-03-25
专利申请权的转移 IPC(主分类):C23C16/44 变更前: 变更后: 登记生效日:20150227 申请日:20110915
专利申请权、专利权的转移
2015-01-14
实质审查的生效 IPC(主分类):C23C16/44 申请日:20110915
实质审查的生效
2013-03-27
公开
公开
机译: 含高温臭氧处理的纳米级超低介电薄膜的制备方法及用相同方法制备的纳米级超低介电薄膜的制备方法
机译: 包括高温臭氧处理的纳米级超低介电薄膜的制备方法及由此制备的纳米级超低介电薄膜
机译: 制造包括高温臭氧处理的纳米级超低介电薄膜的方法和由该方法制造的纳米级超低介电薄膜的制造方法