直写式光刻机中多种倍率镜头相结合进行对准的方法

摘要

本发明公开了一种直写式光刻机中多种倍率镜头相结合进行对准的方法，包括以下步骤：(1)在直写式光刻机的物镜与光路间增设至少一个镜头转换器；(2)在所述镜头转换器上依次安装5倍、10倍、20倍以及50倍镜头；(3)以5倍镜头寻找对准标记，并将对准标记移到视场中心，其后依次以10倍镜头、20倍镜头找到对准标记并将对准标记移到视场中心；(4)在50倍镜头下找到对准标记并将对准标记移到视场中心，而后提取对准标记中心坐标。本发明通过提高对准精度，提高了曝光图形的层间相对位置关系精度，并解决了采用低倍率的单一物镜时对准标记寻找难的问题，提高了光刻机曝光生产效率。