一种多孔悬臂梁结构的多用途微质量传感器

摘要

一种多孔悬臂梁结构的多用途微质量传感器，属于多用途探测传感器技术领域。该微质量传感器连接于固定块的多孔悬臂梁的上表面连接压电薄膜，悬臂梁伸出部分的区域为多个具有相同灵敏度的不同探测区域。通过压电薄膜的数据输出来准确计算探测物的质量。多孔悬臂梁的引入，主要实现了以下功能：(a)多个探测区域的有效分隔；(b)探测区域内各个位置灵敏度高度一致性，降低了测试结果对位置的敏感性；(c)具体算例表明，与传统平面式传感器结构相比，灵敏度最高可提升187%。该微质量传感器具有结构简单、测量范围宽、均匀性好和灵敏度高等特点，因而可广泛用于气/液体浓度测量、细胞生长以及微生物如细菌或病毒等测量。