具有III–V族增益材料和集成散热器的电光器件

摘要

具有两个晶片组件的电光器件及其制造方法。第一晶片组件包括硅衬底及其顶部上的覆层。覆层包括在其中形成的空腔，其中该空腔填充有电绝缘的散热片，该散热片的导热率大于覆层的导热率。第二晶片组件包括III‑V族半导体增益材料的堆叠，设计用于给定辐射的光学放大。第二晶片组件被接合到第一晶片组件上，从而使III‑V族半导体增益材料的叠层与散热片热连通。另外，对于所述给定辐射，散热片的折射率低于硅衬底的折射率和III‑V族半导体增益材料叠层的平均折射率。