一种基于MEMS技术的微型加速度传感器

摘要

本发明公开了一种基于MEMS技术的微型加速度传感器，包括传感器外壳和检测元件，检测元件固定安装在传感器外壳的内部，通过在传感器外壳设置的元件固定壳上开设有散热孔，有助于传感器外壳内部的检测元件散热，不至于温度过高而出现故障，且将元件固定壳和电性连接壳均采用绝缘不锈钢材质制成，并在传输端的外侧套装绝缘子，杜绝了短路现象的发生，同时保护了检测元件，使得对加速度的检测更精准；通过将第一固定电极、第二固定电极和第三固定电极采用单晶硅片制成，并采用MEMS技术制造，使得检测元件的体积更小，便于安装，同时在第二固定电极内部设置质量块和弹性固定外壳，且弹性固定外壳设置缓冲弹簧，使得检测效果更好，更加精准。