КОНСТРУКТИВНО-ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ ДАТЧИКОВ УСКОРЕНИЯ НА ОСНОВЕ МЭМС-ТЕХНОЛОГИЙ

摘要

Представлены типовые конструкции чувствительных элементов, параметры и технологии изготовления датчиков ускорения на основе кремниевых преобразователей с применением технологий микроэлектромеханических систем (МЭМС). Показаны основные тенденции развития.