一种基于MEMS技术和膜材料的高集成度微型光纤海水温盐深传感器

摘要

本发明公开了基于MEMS技术和膜材料的高集成度微型光纤海水温盐深传感器。该传感器由半透半反膜、耐热派热克斯玻璃、空气腔、膜材料、单模光纤、空心石英玻璃管箍、高阻硅基底、高阻硅片依次相连而成，形成一固一气的双法‑珀结构。其高阻硅片外侧镀膜，可提高传感器盐度探测灵敏度和动态范围，并作为保护层减小海洋环境中附着物对传感器的侵蚀和干扰，提高了传感器的寿命、稳定性和准确性。该传感器实现了单光纤传感器的海水温度、压力和折射率的同时测量，从而获得海水温盐深信息。三个参量相互之间形成自补偿，无需考虑传感器的交叉敏感的问题，符合目前测量仪器小型化，集成度高的发展趋势，属于光纤传感在海洋温盐深探测领域的应用。