公开/公告号CN110631520A
专利类型发明专利
公开/公告日2019-12-31
原文格式PDF
申请/专利权人 青岛科信信息科技有限公司;
申请/专利号CN201910954383.9
发明设计人 杨苏春;
申请日2019-10-09
分类号
代理机构北京中济纬天专利代理有限公司;
代理人赵园园
地址 266000 山东省青岛市市北区嘉兴路6号
入库时间 2024-02-19 16:40:09
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-12-31
公开
公开
机译: 用光学干涉仪测定粗糙度的非接触式装置
机译: 用于检测物体表面的形状,距离粗糙度的干涉测量装置,具有来自调制干涉仪的光束,该光束被入射到具有成角度的光输出表面的光学测量探头
机译: 微光学干涉仪,例如光学延迟干涉仪,例如折射率测量,具有整体式成型体,其光学边界表面具有入射点,分束器,反射点和干涉点