Oberflacheneigenschaften spielen eine wichtige Rolle, da sie sowohl mechanisches als auch elektrisches sowie chemisches Verhalten beeinflussen konnen. Informationen uber die Ebenheit oder Rauheit bilden eine wichtige Grundlage fur Prozess-Optimierungen. Optische Messverfahren als beruhrungslose und zerstorungsfreie Analyse- und Prufmethoden erschliessen hier interessante Moglichkeiten, da sie auf nahezu allen Materialien einsetzbar sind und sich auch fur empfindliche Oberflachen eignen.
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