公开/公告号CN110621612A
专利类型发明专利
公开/公告日2019-12-27
原文格式PDF
申请/专利权人 弗劳恩霍夫应用研究促进协会;
申请/专利号CN201880029647.3
申请日2018-03-05
分类号
代理机构中科专利商标代理有限责任公司;
代理人潘剑颖
地址 德国慕尼黑
入库时间 2024-02-19 16:11:28
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2020-01-21
实质审查的生效 IPC(主分类):B81B3/00 申请日:20180305
实质审查的生效
2019-12-27
公开
公开
机译: 使用MEMS致动器的静电立式微致动器的组装装置,具有该静电立式微致动器的静电立式微致动器及其制造方法
机译: 使用MEMS致动器的静电垂直微致动器的组装装置,其中的静电垂直微致动器及其制造方法和简化的过程
机译: MEMS致动器,包括多个MEMS致动器的系统以及制造MEMS致动器的方法