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公开/公告号CN110476234A
专利类型发明专利
公开/公告日2019-11-19
原文格式PDF
申请/专利权人 东丽工程株式会社;
申请/专利号CN201880021114.0
发明设计人 河村知范;寺田胜美;大木英三;
申请日2018-03-20
分类号
代理机构北京三友知识产权代理有限公司;
代理人乔婉
地址 日本东京都
入库时间 2024-02-19 16:06:58
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-12-13
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L21/56 申请日:20180320
实质审查的生效
2019-11-19
公开
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