用于线上部分平均测试及潜在可靠性缺陷检验的方法及系统

摘要

本发明揭示用于线上部分平均测试及潜在可靠性缺陷辨识或检测的方法及系统。一种线上部分平均测试方法可包含：在晶片制作期间在多个关键步骤处对多个晶片执行线上检验及计量；利用一或多个处理器聚合从线上检验及计量获得的检验结果以针对所述多个晶片获得多个经聚合检验结果；至少部分地基于针对所述多个晶片获得的所述多个经聚合检验结果而识别所述多个晶片当中的一或多个统计离群值；及取消所述一或多个统计离群值进入供应链以用于下游制造过程的资格，或分离所述一或多个统计离群值以用于进一步评估、测试或再利用。