公开/公告号CN110556318A
专利类型发明专利
公开/公告日2019-12-10
原文格式PDF
申请/专利权人 张家港市欧微自动化研发有限公司;
申请/专利号CN201910832710.3
发明设计人 钟爱华;
申请日2019-09-04
分类号
代理机构苏州润桐嘉业知识产权代理有限公司;
代理人吴筱娟
地址 215600 江苏省苏州市张家港市杨舍镇塘市新泾中路10-1号5室
入库时间 2024-02-19 15:57:53
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2020-01-03
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L21/67 申请日:20190904
实质审查的生效
2019-12-10
公开
公开
机译: //器件晶片和载体晶片的粘结/解粘方法以及粘结/解粘的装置
机译: 器件晶片与载体晶片的粘结/解粘方法以及粘结/解粘的装置
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