金属氧化物结晶结构及具有此金属氧化物结晶结构的显示面板的电路结构及薄膜晶体管

摘要

本发明公开一种金属氧化物结晶结构及具有此金属氧化物结晶结构的显示面板的电路结构及薄膜晶体管。金属氧化物结晶结构包含铟、锡、镓及氧原子，其中铟：锡：镓：氧的原子比例为2：1：1：6，且金属氧化物结晶结构具有结晶单元为菱形六面体。本发明的金属氧化物结晶结构具有原子结构几何优化观点的结晶单元，具有高稳定性及高载子移动率适用于显示面板的薄膜晶体管。