一种高通量预筛选相变异质结材料的方法

摘要

本发明公开了一种高通量预筛选相变异质结材料的方法，包括：选择能够进行微观结构表征的衬底制备的相变材料薄膜或异质结构薄膜；采用聚焦离子束及进行透射电镜样品制备，采用等离子清洗技术对制备的样品进行表面预处理；将预处理电镜样品置于透射电镜中，并在电镜样品中寻找表面平整、正晶带轴向的区域；针对相变材料薄膜和异质结构薄膜，在电镜中设置电子束的辐照电压、辐照强度和辐照时间；在电镜中实时观测电镜样品辐照区域的微观结构，通过观察材料的结构演变筛选所需的相变材料及异质结构插层材料。本发明结合了常规的透射电子显微样品制备和结构分析方法预筛选相变异质结材料，简便易操作，具有高效率、低成本的特点。