具有可转换机械性能的纳米压印光刻材料

摘要

本申请公开了具有可转换机械性能的纳米压印光刻材料。描述了一种利用具有可转换机械性能的NIL材料的方法。该方法包括施加压印掩模到纳米压印光刻(NIL)材料层。NIL材料层由模量水平低于柔性阈值的NIL材料组成。所述NIL材料层具有当改变时引起NIL材料的模量水平的改变的内部特性。方法进一步包括从压印掩模分离压印NIL材料层，NIL材料的低模量水平使得在分离后所述压印NIL材料层的形状保持不变。通过改变NIL材料的内部特性来增加NIL材料的模量水平，模量水平的增加超过强度阈值以产生第一压印层，该第一压印层的结构保持不受后续工艺的影响。