法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-12-20
实质审查的生效 IPC(主分类):G01L1/16 申请日:20190920
实质审查的生效
2019-11-26
公开
公开
机译: 环形谐振器传感器具有不对称的MACH-ZEHNDER干涉仪,通过自我更新的环形波导传感器系统具有环形谐振器传感器,并且微谐振器传感器具有环形谐振器传感器,可通过改善灵敏度来改善传感器的灵敏度
机译: 微谐振器,具有这种微谐振器的谐振器传感器,包括至少两个这种微谐振器的传感器阵列以及用于制造这种微谐振器的方法
机译: 微机械部件,基于微镜的激光系统以及用于监视基于微镜的激光系统的方法,该系统包括用于感测温度和光强度的双传感器二极管