用于微型光离子化气体传感器的微型电离室和微型紫外光源一体件

摘要

用于微型光离子化气体传感器的微型电离室和微型紫外光源一体件，属于传感器制造技术领域，本发明为解决现有光离子化气体传感器体积大、功耗大的问题。本发明包括微型电离室和微型紫外光源；紫外光源腔体键合在电离室腔体的底部，紫外光源腔体的两侧焊接有激发电极，紫外光源腔体内填充有工作气体；激发电极向紫外光源腔体的侧壁施加电压，工作气体在电压的激励下发射真空紫外光；待测气体由进气通孔进入电离室腔体，在真空紫外光的照射发生离子化反应，离子化反应产生的离子和电子在偏置电极形成的电场内定向移动形成离子化电流，离子化电流通过收集电极收集，通过收集电极的引出端反馈至后续检测电路。本发明用于光离子化气体传感器。