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公开/公告号CN110538620A
专利类型发明专利
公开/公告日2019-12-06
原文格式PDF
申请/专利权人 北京北方华创微电子装备有限公司;
申请/专利号CN201811354718.5
发明设计人 孙朋涛;耿丹;桂晓波;郑建宇;李补忠;
申请日2018-11-14
分类号B01J19/00(20060101);G05D16/20(20060101);H01L21/67(20060101);
代理机构11218 北京思创毕升专利事务所;
代理人孙向民;廉莉莉
地址 100176 北京市大兴区北京经济技术开发区文昌大道8号
入库时间 2024-02-19 14:44:26
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-12-31
实质审查的生效 IPC(主分类):B01J19/00 申请日:20181114
实质审查的生效
2019-12-06
公开
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