光蚀刻设备的控制方法及光蚀刻设备

摘要

本发明公开了一种光蚀刻设备的控制方法，包括以下步骤：获取待加工物料的物料信息及光蚀刻设备上的加工光罩的第一光罩编号，所述物料信息包括所述待加工物料对应的加工光罩的第二光罩编号以及加工参数；在所述第一光罩编号与所述第二光罩编号不相同时，将所述光蚀刻设备上的加工光罩更换为所述待加工物料对应的加工光罩；控制所述光蚀刻设备根据所述加工参数加工所述待加工物料。本发明还公开了一种光蚀刻设备，达成了提高光蚀刻设备的生产效率的效果。